研究者
J-GLOBAL ID：200901084395276198   更新日: 2024年09月19日

杉山 進

スギヤマ ススム | Sugiyama Susumu
所属機関・部署：
立命館大学 総合科学技術研究機構

立命館大学 総合科学技術研究機構 について


職名： 上席研究員
その他の所属（所属・部署名・職名） (3件)：
研究分野 (4件)： 制御、システム工学 ,  電子デバイス、電子機器 ,  機械力学、メカトロニクス ,  ロボティクス、知能機械システム
研究キーワード (1件)： センサ工学, マイクロシステム工学, 半導体工学, 電子デバイス
競争的資金等の研究課題 (2件)：
  • 2010 - 2010 ポリマーMEMSデバイスの製作技術開発
  • 2010 - 2010 京都環境ナノクラスター
論文 (241件)：
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特許 (23件)：
  • レジスト膜の形成方法及び超小型構造体の作製方法
  • 半導体圧力センサ
  • 磁気センサ
  • 半導体ひずみゲージ及びそれを用いたひずみ測定方法
  • X線露光用レジスト基板及びその製造方法、該レジスト基板を用いた金型の製造方法並びに該金型を用いたマイクロ部品の製造方法
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書籍 (28件)：
  • Recent Advances in Nanofabrication Techniques and Applications, Ed. by Bo Cui, Chapter 16: Fabrication of 3-D Structures Utilizing Synchrotron Radiation Lithography
    In-Tech, Vienna, Austria 2011 ISBN:9789533076027
  • Nanowires, Chapter15: Electronic States and Piezoresistivity in Silicon Nanowires
    In-Tech, Vienna, Austria 2010 ISBN:9789537619794
  • MEMS/NEMS工学全集、桑野博喜 監修、第3章 MEMS/NEMSプロセス基盤技術、第10節 厚膜プロセス、1.LIGA
    テクノシステム 2009
  • Springer Proceedings in Physics, Vol.127: Physics and Engineering of New Materials, "Design and Fabrication of a Miniaturized Three-Degree-of-Freedom Piezoresistive Acceleration Sensor Based on MEMS T echnology Using Deep Reactive Ion Etching"
    Springer Berlin Heidelberg 2009 ISBN:9783540882008
  • ナノテクノロジーハンドブックI編 創る(第1分冊)、ナノテクノロジーハンドブック編集委員会編、5章ナノ構造の製作技術、5・3 LIGAプロセス
    オーム社 2003
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講演・口頭発表等 (628件)：
  • Application of Polymer MEMS to Material Fatigue Testing
    ((ICAMN 2014) The 2nd Int'l Conf. on Advanced Materials and Nanotechnology, Hanoi, Vietnam, Oct.29-Nov.1, 2014 2014)
  • ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり
    (電気学会センサ・マイクロマシン部門大会、第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、2014年10月20-22日、島根県松江市、くにびきメッセ、22am2-B1(6p) 2014)
  • 静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験
    (電気学会センサ・マイクロマシン部門大会、第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、2014年10月20-22日、島根県松江市、くにびきメッセ、21pm3-PS6(6p) 2014)
  • Fatigue Testing of PMMA Using Polymer MEMS Actuator Fabricated by Hot Embossing
    ((APCOT 2014) The 7th Asia-Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies, Jun.29-July 2, 2014, Daegu, Korea, Proc. 14-1(2p) 2014)
  • Development of Environmental Friendly Polymer MEMS Process Technology and Its Application
    ((IWNA 2013) The 4th Int'l Workshop on Nanotechnology and Application, Nov.14-16,2013, Vung Tau, Vietnam 2013)
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学歴 (2件)：
  • - 1970 名城大学 理工学部 電気工学
  • 東京工業大学大学院
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (東京工業大学)
経歴 (8件)：
  • 2000/12/01 - 2010/12/31 立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター・センター長
  • 2008/04/01 - 立命館グローバル・イノベーション研究機構・教授
  • 2007/04/01 - 2008/03/31 立命館大学COE推進機構・教授
  • 1995/04/01 - 2007/03/31 立命館大学理工学部・教授
  • 1998/04/01 - 2002/03/31 立命館大学SRセンター・副センター長
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委員歴 (18件)：
  • 1995/05 - 2012 MYU K.K., Tokyo Editor-in-Chief of the Journal, "Sensors and Materials"
  • 1995/05 - 2012 MYU K.K., Tokyo Editor-in-Chief of the Journal, "Sensors and Materials"
  • 1995/05 - 2012 MYU K.K., Tokyo Sensors and Materials(MYU K.K., Tokyo) 編修委員長
  • 2007/05 - 2011 The Japan Institute of Electronics Packaging (JIEP) Executive of the Japan Institute of Electronics Packaging (JIEP)
  • 2007/05 - 2011 The Japan Institute of Electronics Packaging (JIEP) Executive of the Japan Institute of Electronics Packaging (JIEP)
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受賞 (12件)：
  • 2012/08 - 京都府知事 山田啓二 京都府知事より「感謝状」授与
  • 2012/05 - 電気学会 電気学会平成24年第21回業績賞
  • 2011/05 - 電気学会 電気学会フェローの称号を授与
  • 2009/11 - (社)日本分析化学会 「東京コンファレンス2009」優秀ポスター賞、(社)日本分析化学会
  • 2008/11 - IEEE MHS MHS2008(IEEE) 最優秀論文賞
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所属学会 (6件)：
"電気・電子学会(The Institute of Electrical Electronics Engineers, Inc. )" ,  日本ロボット学会 ,  日本機械学会 ,  応用物理学会 ,  エレクトロニクス実装学会 ,  電気学会
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