文献

J-GLOBAL ID：200902268760686225   整理番号：09A0214434

無線周波数プラズマの二つのモードにおける電子温度の新しい放射プローブによる測定

New Emissive Probe Measurements of Electron Temperature in Two Modes of Radio-Frequency Plasmas

著者 (2件)： KUSABA Kouta (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  SHINDO Haruo (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 2  ページ： 026001.1-026001.6  発行年： 2009年02月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 放射プローブによって電子温度を測定するために最近報告された新しい方法を無線周波数(RF)プラズマに適用した。特に,13.56MHzにおいて容量性から誘導性へのモード遷移が起こる条件に集中して,電子温度の測定を行った。その方法は,放射プローブの浮遊電位と加熱電圧との間の関数関係の測定に基づく。加熱電圧の関数としての浮遊電位の変化の測定データはプラズマモードに依存して全く異なる挙動を示す。誘導モードでは浮遊電位の変化はMawellプラズマに基づく理論と一致し,電子温度を決定することができるが,容量モードでは浮遊電位の変化の挙動はかなり複雑でって,非Maxwell型プラズマであることを見出した。この方法の大きい利便性によって,電子エネルギー確率関数(EEPF)を,2.3kTe/eのエネルギー分解能を持って計算し,こうして得たEEPFは容量モードではbi-Maxwell型であるが,遷移後の誘導モードではMaxwell型になる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： プラズマ探針 ,  *プラズマ診断 ,  *電子温度 ,  プラズマ ,  誘導結合プラズマ ,  電位 ,  電圧 ,  加熱 ,  正規分布 ,  *計測 ,  分解能
準シソーラス用語： エミッションプローブ ,  RFプラズマ ,  容量結合プラズマ ,  浮遊電位 ,  電子エネルギー確率関数

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (12件)：

• R. F. Kemp and J. M. Sellen, Jr.: Rev. Sci. Instrum.37(1966)455.
• W. Yao, T. Intrator, and N. Hershkowitz: Rev. Sci. Instrum.56(1985)519.
• C. Forrest and N. Hershkowitz: J. Appl. Phys.60(1986)1295.
• T. Honzawa: Rev. Sci. Instrum.58(1987)401.
• S. Takamura, N. Ohno, M. Y. Ye, and T. Kuwabara: Contrib. Plasma Phys.44(2004)126.

タイトルに関連する用語 (5件)： 無線周波数 ,  プラズマ ,  電子温度 ,  放射 ,  プローブ