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J-GLOBAL ID：200902219101795784   整理番号：09A0136234

低周波プラズマにおける窓材料の誘電率によるモード転移促進

Mode Transition Enhancement by Permittivity of Window Materials in Low Frequency Plasmas

著者 (5件)： JINBO Yousuke (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN) ,  KITAMURA Yuichi (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  KUSABA Kouta (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  KIKUCHI Masashi (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN) ,  SHINDO Haruo (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 2  号： 1  ページ： 016001.1-016001.3  発行年： 2009年01月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量結合プラズマから誘導結合プラズマへのモード転移を2MHzと13.56MHzに対して実験的に研究した。その結果,転移点において電子密度が系統的に変化することが分かった。特に2MHzでの転移は高周波出力窓の誘電率に強く依存する。容量的と誘導的な結合による電子の出力吸収機構を含む簡単なモデルを提案する。基本的な基準として,周波数と誘電率を用いて臨界電子密度を定式化した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  誘導結合プラズマ ,  *電子密度 ,  周波数 ,  *誘電率 ,  *モード ,  相転移 ,  容量結合プラズマ
準シソーラス用語： モード転移

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

引用文献 (8件)：

• UCHIDA, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, L43
• SCHAEPKENS, M. J. Vac. Sci. Technol. A. 1999, 17, 3272
• SHINDO, H. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1246
• SHINDO, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1066
• SHINDO, H. Jpn. J. Appl. Phys. 2002, 41, L956

タイトルに関連する用語 (4件)： 低周波プラズマ ,  窓材 ,  誘電率 ,  促進