研究者
J-GLOBAL ID:200901098700572178
更新日: 2020年05月16日
三野 哲也
ミノ テツヤ | Mino Tetsuya
所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グループ
独立行政法人産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グループ について
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ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T99624870
MISC (2件):
K Endo, N Shirakawa, Y Yoshida, S Ikeda, T Mino, E Gofuku, E Suzuki. Deoxidization of Cu oxide under extremely low oxygen pressure ambient. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS. 2006. 45. 12-16. L393-L395
極低酸素分圧を用いたCu酸化物クリーニング技術. 電子情報通信学会技術研究報告. 2006. 105. 598. 25-29
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