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J-GLOBAL ID：200902299577372281   整理番号：06A0417905

極低酸素圧雰囲気下のCu酸化膜の脱酸素

Deoxidization of Cu Oxide under Extremely Low Oxygen Pressure Ambient
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著者 (7件)：
ENDO Kazuhiko

ENDO Kazuhiko について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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SHIRAKAWA Naoki

SHIRAKAWA Naoki について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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YOSHIDA Yoshiyuki

YOSHIDA Yoshiyuki について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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IKEDA Shin-ichi

IKEDA Shin-ichi について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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MINO Tetsuya

MINO Tetsuya について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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GOFUKU Eishi

GOFUKU Eishi について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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SUZUKI Eiichi

SUZUKI Eiichi について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters について


巻： 45  号： 12-16  ページ： L393-L395  発行年： 2006年04月25日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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極低酸素分圧雰囲気でCu酸化膜の脱酸素を行った。新しく開発し...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*酸化銅

酸化銅 について

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分類 (2件)：
分類
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半導体集積回路 
(NC03162T)

半導体集積回路 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
酸素圧

酸素圧 について

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雰囲気

雰囲気 について

, 
Cu

Cu について

, 
酸化膜

酸化膜 について

, 
脱酸素

脱酸素 について


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