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J-GLOBAL ID：200902002213316928   整理番号：88A0445352

圧電素子を用いた微小変位工具台

A micro positioning tool post using a piezoelectric actuator for diamond turning machines.

著者 (1件)： 岡崎祐一 (機械技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 7  ページ： 1375-1380  発行年： 1988年07月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 一体切欠き型弾性支持案内機構と積層型圧電アクチュエータを用い...

シソーラス用語： ダイヤモンド工具 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 旋削,中ぐり  (QC02020G)

引用文献 (7件)：

• 1) 森山茂夫, 原田達男, 高梨明紘 : 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4(1984)718.
• 2) S. R. Patterson & E. B. Magrab : Design and Testing of a Fast Tool Servo for Diamond Turning, Prec. Engg., 7, 3, (1985) 123.
• 3) E. Kouno : A Fast Response Piezoelectric Actuator for Servo Correction of Systematic Errors in Precision Machining, Ann. CIRP, 33, 1, (1984) 369.
• 4) 津田展宏, 加藤 敬, 沢辺雅二 : 一体構造の縮小機構付き複合平行ばね, 精密機械, 48, 6(1982)734.
• 5) 星 鐵太郎 : びびり現象, 工業調査会(1977).

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電素子 ,  微小変位 ,  工具台