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J-GLOBAL ID:200902002213316928   整理番号:88A0445352

圧電素子を用いた微小変位工具台

A micro positioning tool post using a piezoelectric actuator for diamond turning machines.
著者 (1件):
資料名:
巻: 54  号:ページ: 1375-1380  発行年: 1988年07月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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一体切欠き型弾性支持案内機構と積層型圧電アクチュエータを用い...
シソーラス用語:
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準シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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旋削,中ぐり 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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