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J-GLOBAL ID：200902089886104599   整理番号：82A0269577

一体構造の縮小機構つき複合平行ばね

著者 (3件)： 津田展弘 (計量研) ,  加藤敬 (計量研) ,  沢辺雅二 (計量研)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 48  号： 6  ページ： 734-739  発行年： 1982年06月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超LSI用マスク検査のために用いる一体構造の縮尺機構つき複合...

シソーラス用語： 構造 ,...

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分類 (1件)： 緩衝器,ばね  (QB01110U)

引用文献 (10件)：

• 1) S. Matsuo et al. : Etching Characteristics of Various Materials by Plasma Reactive Sputter Etching, Japanese J. Appl. Phys., 17, 1, (1978) 235.
• 2) 例えば, 吉田庄一郎 : IC製造用光学機器, 応用物理, 44, 5(1975)526.
• 3) F. E. Scire & E. C. Teague : Piezodriven 50 μm Range Stage with Subnanometer Resolution, Rev. Sci. Instrum., 49 (12), Dec. (1978) 1735.
• 4) 松田維人ほか : 高精度X-Yステージの評価, 昭和51年度精機学会秋季大会学術講演会前刷(1976)431.
• 5) R. V. Jones : Some Uses of Elasticity in Instrument Design, J. Sci. Instrum., 39, (1962) 193.

タイトルに関連する用語 (3件)： 一体構造 ,  縮小 ,  ばね