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J-GLOBAL ID：200902002960908273   整理番号：91A0580678

U-LPCVD Poly-Si薄膜の評価

The evaluation of U-LPCVD Poly-Si films.

著者 (4件)： 中村健一 (日本電気 機能エレクトロニクス研) ,  田辺浩 (日本電気 機能エレクトロニクス研) ,  世良賢二 (日本電気 機能エレクトロニクス研) ,  奥村藤男 (日本電気 機能エレクトロニクス研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th  号： Pt 2  ページ： 600  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： LPCVD ,  Si薄膜 ,  評価