気相機能化プラズマ現像レジスト  電子線露光の初期概念と結果

TAYLOR G N; STILLWAGON L E; VENKATESAN T

文献

J-GLOBAL ID：200902008549606426 整理番号：84A0383513

気相機能化プラズマ現像レジスト電子線露光の初期概念と結果

Gas-phase-functionalized plasma-developed resists: Initial concepts and results for electron-beam exposure.

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巻： 131 号： 7 ページ： 1658-1664 発行年： 1984年07月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

揮発性無機化合物で露光したレジストを処理後酸素反応性イオンエ...

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固体デバイス製造技術一般 , その他の高分子の反応

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