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J-GLOBAL ID：200902015972761620   整理番号：92A0050306

光CVD・SiO2膜のエキシマレーザ励起フォトルミネッセンス

Photoluminescence Excited by Excimer Laser in SiO2 Photo-CVD Film.
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著者 (3件)：
金島岳

金島岳 について

(大阪大 基礎工)

大阪大 基礎工 について

, 
奥山雅則

奥山雅則 について

(大阪大 基礎工)

大阪大 基礎工 について

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浜川圭弘

浜川圭弘 について

(大阪大 基礎工)

大阪大 基礎工 について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 52nd  号： 3  ページ： 1216  発行年： 1991年10月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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光CVD

光CVD について

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SiO2

SiO2 について

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エキシマレーザ

エキシマレーザ について

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励起

励起 について

, 
フォトルミネッセンス

フォトルミネッセンス について


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