研究キーワード (21件):
高誘電率膜
, 放射光
, 変調分光
, Si表面
, SiO<sub>2</sub>-Si界面
, 微小電気-機械変換素子
, 電子放出素子
, メモリ(記憶素子)
, センサ
, 誘電体膜
, 強誘電体膜
, high-k Thin Film
, Synchrotron radiation
, Modulation Spectroscopy
, Si Surface
, SiO<sub>2</sub>-Si Interface
, Micro Electro Mechanical Devices
, Electron-Emission
, Memory
, Sensor
, Ferroelectric and Dielectric thin Films
- 超高速アレイセンサによる立体画像計測
- 医療・環境・ホーム用低電力高感度超小型赤外線センサ
- 波長微分スペクトルイメージングによる生体診断, 環境産業モニタリングシステム
- Si表面の分光的評価
- 次世代超LSI用高誘電率ゲート薄膜の作製と評価
- 酸化物強誘電体薄膜のレーザーアブレーションによる作製、基礎物性および応用
- Low-Power, High-Sensitvity, Small-size Infrared Senser for Medical, environmental and Homeelectronics System
- Monitoring System for Human Diagnostics, Environment and Industry Using Wavelength-Differential Spectrum Imaging
- Spectroscopic Characterization of Si Surface
- Preparation and Characterization of High-k gate Thin Films for Next-Generation ULSI
- Preparation of Ferroelectric Oxide Thin Film by Laser Ablation, Their Basic Properties and Device Applications
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Functual Material Letter
, 次世代センサ協議会
, センシング技術応用研究会
, 日本赤外線学会
, 日本放射光学会
, 日本表面科学会
, 日本物理学会
, 日本材料学会
, 電気学会
, 応用物理学会
, Functual Material Letter
, The Institute of Electrical and Electronics Engineers