新しいタイプの高電流低エネルギーイオン源

HARA T; HAMAGAKI M; SANDA A; AOYAGI Y; NAMBA S

文献

J-GLOBAL ID：200902017309266007 整理番号：87A0286951

新しいタイプの高電流低エネルギーイオン源

New high current low energy ion source.

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資料名：
巻： 5 号： 1 ページ： 366-368 発行年： 1987年01月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

低エネルギーで高電流の電子ビームを用いて励起を行う新しいタイ...

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電子源,イオン源

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