真空ロードロックの制御された給気および排気によるパーティクル汚染の低減

STRASSER G; BADER H P; BADER M E

文献

J-GLOBAL ID：200902019688088075 整理番号：91A0166724

真空ロードロックの制御された給気および排気によるパーティクル汚染の低減

Reduction of particle contamination by controlled venting and pumping of vacuum loadlocks.

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資料名：
巻： 8 号： 6 ページ： 4092-4097 発行年： 1990年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ウエハのパーティクル汚染を低減するために用いられるスロー給気...

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真空技術 , 固体デバイス製造技術一般

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