Nd:YAGレーザとKOH液によるAl<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/TiCセラミックスのレーザアシストエッチング

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J-GLOBAL ID：200902019770031707 整理番号：87A0555328

Nd:YAGレーザとKOH液によるAl₂O₃/TiCセラミックスのレーザアシストエッチング

Laser-assisted etching for Al₂O₃/TiC ceramics with Nd:YAG laser and KOH solution.

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巻： 53 号： 7 ページ： 1027-1032 発行年： 1987年07月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ウエット方式のレーザアシストエッチング(LAE)を標記セラミ...

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特殊加工 , セラミック・磁器の性質

引用文献 (2件)：

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