けい素上のダイヤモンド薄膜の成長および境界のTEM観察

文献

J-GLOBAL ID：200902020596775783 整理番号：90A0443214

Growth of diamond thin films on silicon and TEM observation of the interface.

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資料名：
巻： 99 号： 1/4 Pt.2 ページ： 1211-1214 発行年： 1990年01月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

EACVD法でSi基板上にダイヤモンド薄膜を合成した。膜の結...

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その他の無機化合物の薄膜 , 合成鉱物

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