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J-GLOBAL ID:200902023083266157   整理番号:87A0359170

単結晶Siの異方性エッチング技術

Anisotropic etching of single crystal silicon.
著者 (1件):
資料名:
巻: 53  号:ページ: 849-852  発行年: 1987年06月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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単結晶にのみ可能な結晶方位を利用した異方性エッチングによって...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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