単結晶Siの異方性エッチング技術

文献

J-GLOBAL ID：200902023083266157 整理番号：87A0359170

Anisotropic etching of single crystal silicon.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 53 号： 6 ページ： 849-852 発行年： 1987年06月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

単結晶にのみ可能な結晶方位を利用した異方性エッチングによって...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (10件)：

1) K. E. Petersen : Silicon as a Mechanical Material, Proc. IEEE, 70, 5, (1982) 420.
2) 佐藤一雄, 田中伸司, 河村喜雄, 寺澤恒男 : Siを用いたマイクロメカニクスの研究(第1報), 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1986) 751.
3) B. E. Burns, P. W. Barth & J. B. Angell : Fabrication Technology for a Chronic in-Vivo Pressure Sensor, Tech. Dig. IEEE IEDM, (1984) 210.
4) 高梨明紘, 佐藤一雄 : エレクトロニクスにおける微細加工技術の展望と波及効果, 電子技術, 26, 9 (1984) 18.
5) 田中伸司, 寺澤恒男, 佐藤一雄, 河村喜雄, 鶴岡久 : Siを用いたマイクロメカニクスの研究(第4報), 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1987) 845.

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