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J-GLOBAL ID：200902023759063149   整理番号：82A0096168

特集:産業における画像の処理と認識 V 電子産業における画像の処理と認識 V-2 シリコンウエハーの検査

著者 (2件)： 伊井正武 (浜松テレビ) ,  飯田等 (浜松テレビ)
資料名： テレビジョン学会誌  (Journal of the Institute of Television Engineers of Japan)
巻： 35  号： 11  ページ： 924-928  発行年： 1981年11月 
JST資料番号： F0330A  ISSN： 0386-6831  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 傷,汚れなどの分類や,いくつかの自動検査装置の方式,性能等に...

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  パターン認識  (JE07000S)

引用文献 (10件)：

• 1) Definitions for Semiconductor. Materials Terminology, Specifications SEMI (1979)
• 2) MFS-25124, Automatic Inspection of Silicon Wafer, NASA Tech. Briefs, 4 (1979)
• 3) 須田匡, 高見勝己, 岩谷福雄 : 半導体プロセスにおける欠陥・微粒子のレーザによる検出, 電子材料, 16, 9 (1977) 225
• 4) D. R. Oswald, D. R. Munro : A Laser Scan Technique for Electronic Materials Surface Evaluation, J. of Electronic Materials, 3, 1 (1974) 225
• 5) 岩谷福雄, 鈴木道夫, 高見勝己 : レーザ面板欠陥自動検査装置, 電子材料, 18, 9 (1979)

タイトルに関連する用語 (4件)： 産業 ,  電子産業 ,  シリコンウエハー ,  検査