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J-GLOBAL ID：200902026717193980   整理番号：89A0273423

高周波法で発生させたプラズマを用いたプラズマ中イオン注入

Plasma immersion ion implantation using plasmas generated by radio frequency techniques.

著者 (4件)： TENDYS J (Australian Nuclear Science and Technology Organization, NSW, AUS) ,  DONNELLY I J (Australian Nuclear Science and Technology Organization, NSW, AUS) ,  KENNY M J (Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization, NSW, AUS) ,  POLLOCK J T A (Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization, NSW, AUS)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 53  号： 22  ページ： 2143-2145  発行年： 1988年11月28日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rf法で発生させた中間密度(3×10<sup>19</sup...

シソーラス用語： 高周波放電 ,...

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分類 (2件)： 金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N) ,  表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高周波 ,  プラズマ ,  注入