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J-GLOBAL ID:200902026717193980   整理番号:89A0273423

高周波法で発生させたプラズマを用いたプラズマ中イオン注入

Plasma immersion ion implantation using plasmas generated by radio frequency techniques.
著者 (4件):
資料名:
巻: 53  号: 22  ページ: 2143-2145  発行年: 1988年11月28日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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金属の放射線による構造と物性の変化  ,  表面硬化熱処理 
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