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J-GLOBAL ID：200902033311869806   整理番号：84A0324067

光学式非接触プローブの研究

著者 (2件)： 下河辺明 (東京工大精密工研) ,  長田秀治 (東京工大精密工研)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 50  号： 7  ページ： 1123-1129  発行年： 1984年07月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 十分長い作動距離をもち,測定面の変位,位置,傾きの高精度測定...

シソーラス用語： 光学的測定 ,...
準シソーラス用語： 検出変換器

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (5件)：

• 1) 田部井 誠, 上田光宏 : レーザ光と1次元イメージセンサを用いた表面形状測定装置の試作, 光学, 11, 6(1982)173.
• 2) 例えば, 非接触光学変位計"オプトケータ", セレクティブエレクトロニクス社カタログ.
• 3) J. R. Vyce : An Optical Noncontacting Surface Sensor, Appl. Opt., 8, 11, (1969) 2301.
• 4) 例えば, フォトニックセンサ, メカニカルテクノロジー社カタログ.
• 5) 例えば, レーザ干渉システム, ヒューレットパッカード社カタログ.

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学 ,  非接触 ,  プローブ ,  研究