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J-GLOBAL ID：200902042033193536   整理番号：89A0194067

ミラー光学を用いた高分解能の低エネルギービーム

High-resolution, low-energy beams by means of mirror optics.

著者 (4件)： MUNRO E (Imperial Coll., London, GBR) ,  ORIOFF J (Oregon Graduate Center, OR, USA) ,  RUTHERFORD R (Rutherford Consultant, CT, USA) ,  WALLMARK J (Image Graphics Inc., CT, USA)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 6  号： 6  ページ： 1971-1976  発行年： 1988年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 像面の直前に強い減速電場を有し,50eV以下のエネルギでビー...

シソーラス用語： 電子光学 ,...

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分類 (1件)： 粒子光学一般  (BD02010J)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミラー ,  光学 ,  高分解能 ,  エネルギービーム