チタンテトライソプロポキシドからのTiO<sub>2</sub>低圧化学蒸着速度

SIEFERING K L; GRIFFIN G L

文献

J-GLOBAL ID：200902043244663349 整理番号：90A0366203

チタンテトライソプロポキシドからのTiO₂低圧化学蒸着速度

Kinetics of low-pressure chemical vapor deposition of TiO₂ from titanium tetraisopropoxide.

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巻： 137 号： 3 ページ： 814-818 発行年： 1990年03月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

キャリアガス無しで,Ti-テトライソプロポキシド(I)の分解...

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酸化物薄膜

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チタンテトライソプロポキシドからのTiO2低圧化学蒸着速度

チタンテトライソプロポキシドからのTiO₂低圧化学蒸着速度