文献
J-GLOBAL ID:200902046676494504
整理番号:92A0038980
小特集 ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用 有磁場マイクロ波プラズマCVD法およびマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の作製
Special Issue/Deposition Methods, Characterizations and Applications of Diamond Films. Deposition of Diamond Films Using Magneto-Active Plasma CVD and Microwave Plasma CVD.
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