Hewlett-Packard605電子ビームリソグラフィー装置における偏向非点収差と焦点ぼけの自動測定と補正

OWEN G

文献

J-GLOBAL ID：200902050032446859 整理番号：82A0362575

Hewlett-Packard605電子ビームリソグラフィー装置における偏向非点収差と焦点ぼけの自動測定と補正

Automatic measurement and correction of deflection astigmatism and defocusing in the Hewlett-Packard 605 electron beam lithography system.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 19 号： 4 ページ： 1064-1068 発行年： 1981年11月
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTAL 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

SiにAuを蒸着して特に準備したターゲットを用い,一連の焦点...

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電子ビーム,イオンビーム

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