文献

J-GLOBAL ID：200902061303966499   整理番号：86A0560035

空気浮上式高速XYステージの試作

Air bearing guided high speed XY stage.

著者 (4件)： 木下博雄 (NTT) ,  金井宗統 (NTT) ,  出口公吉 (NTT) ,  斉藤忠男 (NTT)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 52  号： 10  ページ： 1713-1718  発行年： 1986年10月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集積回路の超高密化とウエハの大口径化に伴い,パタンを形成する...

シソーラス用語： 空気軸受 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (3件)：

• 1) 水本 洋, 松原十三生, 井川直哉 : すべり案内面の動摩擦変動と位置決め精度, 精密機械, 44, 6 (1978) 653.
• 2) 東條 徹, 堀 光平, 森脇祥修 : 電子描画装置用高精度試料台の開発, 精密機械, 47, 3 (1981) 362.
• 3) 井戸 敏, 露嵜晴夫 : 油圧シリンダ駆動による精密XYステーシ, 精密機械, 49, 10 (1983) 1372.

タイトルに関連する用語 (3件)： 浮上 ,  XYステージ ,  試作