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J-GLOBAL ID：200902055649747289 整理番号：83A0410759
油圧シリンダ駆動による精密XYステージ
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著者 (2件)：
井戸敏
井戸敏 について
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電電公社厚木電通研
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電電公社厚木電通研 について
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露ざき晴夫
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電電公社厚木電通研
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電電公社厚木電通研 について
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資料名：
精密機械 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
精密機械 について
JST資料番号 F0268A ですべてを検索
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巻：
49
号：
10
ページ：
1372-1378
発行年：
1983年10月
JST資料番号：
F0268A
ISSN：
0374-3543
CODEN：
SEKIA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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予備試作した一軸ステージの検討結果を基礎として,新たに開発し...
シソーラス用語：
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油圧シリンダ
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分類 (1件)：
分類
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工作機械要素,ジグ,チャック
(QC01020Z)
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引用文献 (3件)：
1) 井戸 敏ほか : 油圧シリンダ駆動による精密移動機構, 精密機械, 46, 6(1980)734.
2) M. Fujinami et al. : Variably Shaped Electron Beam Lithography System, EB 55 : 1. System Design, J. Vac. Sci. Technol., 19, 4, (1981) 941.
3) 東条 徹ほか : 電子ビーム描画装置用高精度試料台の開発, 精密機械, 47, 3(1981)362.
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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