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J-GLOBAL ID：200902069366479106   整理番号：87A0464889

クリーンルーム内の浮遊微粒子拡散性状に関する研究 I 実大クリーンルームにおける実測と模型実験による検討

Study on distribution of airborne particles in clean room. Part 1. Analysis by full-scale and model experiment.

著者 (3件)： 田中幸彦 (東大) ,  村上周三 (東大 生産技研) ,  加藤信介 (東大 生産技研)
資料名： 空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集  (空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 6th  ページ： 143-150  発行年： 1987年05月 
JST資料番号： Y0789A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 浮遊微粒子濃度計測法に関する検討と実際のコンベンショナルフロ...

シソーラス用語： クリーンルーム ,...

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分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (7件)： クリーンルーム ,  浮遊微粒子 ,  拡散性 ,  研究 ,  実大 ,  実測 ,  模型実験