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J-GLOBAL ID：200902071146169119   整理番号：89A0121293

圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構

Precise positioner utilizing rapid deformations of a piezoelectric element.

著者 (3件)： 樋口俊郎 (東大 生産技研) ,  渡辺正浩 (東大 生産技研) ,  工藤謙一 (プリマハム 中研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 11  ページ： 2107-2112  発行年： 1988年11月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標題の利点は非常に単純な機構で10nmオーダの位置決めができ...

シソーラス用語： 位置決め ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (7件)：

• 1) G.Binnig and H.Rohrer : Scanning Tunneling Microscopy, Helvetica Physica Acta, 55, (1982) 726.
• 2) T.Higuchi, Y.Hojjat and M.Watanabe : Micro Actuators Using Recoils of an Ejected Mass IEEE, Micro Robot and Teleoperators Work-shop Proceedings. Nov.1987.
• 3) 森山茂夫, 原田達男, 高梨明紘 : 圧電素子アクチュエータを備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4 (1984) 80.
• 4) (米) Burley Instrument 社カタログ, Micropositioning Systems
• 5) 杉原和佳, 東条 徹 : 圧電素子を用いた X Y θテーブル, 精密工学会誌, 52, 8 (1986) 1443.

タイトルに関連する用語 (2件)： 圧電素子 ,  精密位置決め