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J-GLOBAL ID：200902076186723404   整理番号：89A0484695

エッチングおよび薄膜作製用の電子サイクロトロン共鳴マイクロ波放電

Electron cyclotron resonance microwave discharges for etching and thin-film deposition.
著者 (1件)：
ASMUSSEN J

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(Michigan State Univ., MI, USA)

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資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 7  号： 3 Pt.1  ページ： 883-893  発行年： 1989年05月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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マイクロ波放電

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