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J-GLOBAL ID：200902077699275594   整理番号：85A0250685

高速精密XYステージ

High speed precision X-Y stage.

著者 (6件)： REEDS J (Hughes Research Lab., California) ,  HANSEN S (Hughes Research Lab., California) ,  OTTO O (Hughes Research Lab., California) ,  CARROLL A M (Perkin-Elmer Corp., California) ,  MCCARTHY D J (Perkin-Elmer Corp., California) ,  RADLEY J (Perkin-Elmer Corp., California)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 3  号： 1  ページ： 112-116  発行年： 1985年01月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最大6インチのウエハを乗せることのできる電子ビームリソグラフ...

シソーラス用語： 電子ビーム加工 ,...

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分類 (2件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (1件)： XYステージ