連続またはパルスラジオ周波励起によるシラン-アルゴン低圧放電中の微粒子の生成と挙動

BOUCHOULE A; PLAIN A; BOUFENDI L; BLONDEAU J P; LAURE C

文献

J-GLOBAL ID：200902082970823300 整理番号：91A0780997

連続またはパルスラジオ周波励起によるシラン-アルゴン低圧放電中の微粒子の生成と挙動

Particle generation and behavior in a silane-argon low-pressure discharge under continuous or pulsed radio-frequency excitation.

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資料名：
巻： 70 号： 4 ページ： 1991-2000 発行年： 1991年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

連続またはパルスrf励起による低圧シラン-アルゴン放電中での...

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気体放電

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