文献
J-GLOBAL ID:200902086270355432 整理番号:86A0369814
3次元ナノメートル技術の現状と将来
Present status and prospect of 3-dimensional nanometer technology.
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{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=86A0369814©=1") }}
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著者 (1件):
森村正道
森村正道 について
名寄せID(JGPN) 200901100384899199 ですべてを検索
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(
計量研
)
計量研 について
名寄せID(JGON) 202251000174529389 ですべてを検索
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資料名:
計測と制御 (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
計測と制御 について
JST資料番号 F0131A ですべてを検索
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巻:
25
号:
5
ページ:
405-411
発行年:
1986年05月
JST資料番号:
F0131A
ISSN:
0453-4662
CODEN:
KESEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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1)ナノメートル計測技術,2)超精密位置決め技術,3)極限環...
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分類 (1件):
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(NC03030V)
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引用文献 (13件):
1) 吉田: 半導体産業における光学技術, 第21回全日本光学測定機展技術講演資料, 2-13 (1984)
2) M. Tanaka and K. Nakayama: A New Optical Interferometer for Absolute Measurement of Linear Displacement in the Subnanometer Range, Jpn. Jour. Appl. Phys., 22-4, L233 (1983)
3) 中山: X線回折の精密測定への応用, 精密機械, 48-8, 979/984 (1982)
4) D. J. Whitehouse, D. K. Bowen, D. G. Chetwynd and S. T. Davies: 仕上面粗さの微細校正, 精密機械, 51-9, 1663/1668 (1985)
5) 市ノ川: 走査型トンネル顕微鏡による表面観察, 応用物理, 54-7, 682/686 (1985)
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