光CVD・SiO<sub>2</sub>膜のF<sub>2</sub>エキシマレーザ励起フォトルミネッセンス

文献

J-GLOBAL ID：200902088158274538 整理番号：92A0831559

光CVD・SiO₂膜のF₂エキシマレーザ励起フォトルミネッセンス

Photoluminescence Excited by F₂ Excimer Laser in SiO₂ Photo-CVD Film.

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資料名：
巻： 53rd 号： 2 ページ： 562 発行年： 1992年09月
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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