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J-GLOBAL ID:200902088242282066   整理番号:89A0619756

高性能材料開発のための表面・界面の制御技術に関する研究(第II期)報告書 昭和59~60年度科学技術振興調整費 「半導体格子欠陥」および「表面・界面の制御技術」に関するシンポジウム(科学技術庁S)

Research (phase II) report on surface and interface control technology for developing high-performance materials. Science and technology Promotion adjusted funds in 1984 and 1985. Symposium on “Semiconductor Lattice Defect” and “Surface and Interface Control Technology”.
著者 (8件):
資料名:
ページ: 269P  発行年: 1986年 
JST資料番号: N19892812  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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基礎研究の成果を実用材料の開発に結びつけるために,社会的要請...
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分類 (2件):
分類
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半導体の格子欠陥  ,  半導体の表面構造 

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