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J-GLOBAL ID:200902094794088787   整理番号:81A0184897

シリコン上のSiO2薄膜のマイクロブリッジを用いてのマイクロヒータ及びマイクロボロメータ

Microheater and microbolometer using microbridge of SiO2 film on silicon.
著者 (1件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 80-82  発行年: 1981年01月22日 
JST資料番号: A0887A  ISSN: 0013-5194  CODEN: ELLEAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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測光と光検出器一般 

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