シリコン上のSiO<sub>2</sub>薄膜のマイクロブリッジを用いてのマイクロヒータ及びマイクロボロメータ

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J-GLOBAL ID：200902094794088787 整理番号：81A0184897

シリコン上のSiO₂薄膜のマイクロブリッジを用いてのマイクロヒータ及びマイクロボロメータ

Microheater and microbolometer using microbridge of SiO₂ film on silicon.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 17 号： 2 ページ： 80-82 発行年： 1981年01月22日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

Siエッチングで作られた空間のSiO₂...

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測光と光検出器一般

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