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J-GLOBAL ID：200902098041374464   整理番号：86A0253800

シランの高周波(RF)放電における粒子分布およびレーザ-粒子相互作用

Particle distributions and laser-particle interactions in an RF discharge of silane.

著者 (3件)： SPEARS K G (Northwestern Univ., IL) ,  ROBINSON T J (Northwestern Univ., IL) ,  ROTH R M (Amoco Corp., IL)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 14  号： 2  ページ： 179-187  発行年： 1986年04月 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルゴン中に0.05-0.45%のシランを含む容量結合形高周...

シソーラス用語： 高周波放電 ,...

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分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (7件)： シラン ,  高周波 ,  RF ,  放電 ,  粒子分布 ,  レーザ ,  相互作用