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J-GLOBAL ID:200902098041374464   整理番号:86A0253800

シランの高周波(RF)放電における粒子分布およびレーザ-粒子相互作用

Particle distributions and laser-particle interactions in an RF discharge of silane.
著者 (3件):
資料名:
巻: 14  号:ページ: 179-187  発行年: 1986年04月 
JST資料番号: D0036B  ISSN: 0093-3813  CODEN: ITPSBD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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アルゴン中に0.05-0.45%のシランを含む容量結合形高周...
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分類 (1件):
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気体放電 

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