CHOQUETTE K D について
AT&T Bell Lab., New Jersey について
HARRIOTT L R について
AT&T Bell Lab., New Jersey について
Applied Physics Letters について
リソグラフィー について
イオンビームリソグラフィー について
固体デバイス製造技術一般 について
電子ビーム・イオンビームの応用 について
SiO2 について
集束イオンビーム について
注入 について
反応性イオンエッチング について
リソグラフィー について