文献

J-GLOBAL ID：200902104411806075   整理番号：95A1013387

高品質薄膜作製のためのサファイア基板上の超平滑表面の原子スケール形成

Atomic-scale formation of ultrasmooth surfaces on sapphire substrates for high-quality thin-film fabrication.

著者 (9件)： YOSHIMOTO M (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  MAEDA T (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  OHNISHI T (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KOINUMA H (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  ISHIYAMA O (Shimadzu Corp., Kyoto, JPN) ,  SHINOHARA M (Shimadzu Corp., Kyoto, JPN) ,  KUBO M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MIURA R (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MIYAMOTO A (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 67  号： 18  ページ： 2615-2617  発行年： 1995年10月30日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子ステップをもつ原子的に平坦な表面を1000~1400°Cで...

シソーラス用語： 表面構造 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A1013387&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}

分類 (1件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高品質 ,  薄膜作製 ,  サファイア基板 ,  平滑表面 ,  原子スケール