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J-GLOBAL ID：200902105128967522   整理番号：98A0652819

スパッタによるTi-Al傾斜組成膜の作製

Preparation of Ti-Al gradient composite films by sputtering.

著者 (2件)： TAKEDA F (Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN) ,  NAKAJIMA T (Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 316  号： 1/2  ページ： 68-72  発行年： 1998年03月21日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ソレノイドコイルをもつdcマグネトロンスパッタで水晶基板にT...

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタ ,  Ti-Al ,  傾斜組成 ,  作製