文献

J-GLOBAL ID：200902105462933426   整理番号：97A0632261

マレイン酸無水物を含む脂環式主鎖から成るArF単層レジスト

ArF Single Layer Resist Composed of Alicyclic Main Chain Containing Maleic Anhydride.

著者 (3件)： JUNG J-C (Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR) ,  BOK C-K (Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR) ,  BAIK K-H (Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 10  号： 4  ページ： 529-533  発行年： 1997年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ArFエキシマレーザリソグラフィーは,0.15μm以下の解像...

シソーラス用語： 単一層 ,...
準シソーラス用語： 橋架け化合物 ,...

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分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (5件)： マレイン酸無水物 ,  ノルボルナ-5-エン-2-カルボン酸2-ヒドロキシエチル ,  ノルボルナ-5-エン-2-カルボン酸tert-ブチル ,  ノルボルナ-5-エン-2-カルボン酸 ,  ノルボルナ-5-エン-2-メタノール

引用文献 (9件)：

• 1). Y. Kaimoto, K. Nozaki, S. Takechi and N. Abe, Proc. SPIE, 1672, 66 (1992)
• 2). Katsumi Maeda, Kaichiro Nakano, Takeshi Ohfuji and Etsuo Hasegawa, Proc. SPIE, 2724, 337 (1996)
• 3). Thomas I. Wallow, Francis M. Houlihan, Omkaram Nalamasu, Edwin A. Chandross, Thomax X. Neenan and Elsa Reichmanis, Proc. SPIE, 2724, 355 (1996)
• 4). Satoshi Takechi, Makoto Takahashi, Akiko Kojinozaki, Ei Yano and Isamu Hanyn, J. Photopolymer Sci. Tech., 9, 3475 (1996)
• 5). S. Takeshi, Y. Kaimoto, K. Nozaki and N. Abe, J. Photopolymer Sci. Tech., 5, 439 (1992)

タイトルに関連する用語 (6件)： マレイン酸無水物 ,  脂環 ,  主鎖 ,  ARF ,  単層 ,  レジスト