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J-GLOBAL ID：200902106582521608   整理番号：96A0470286

片持ち梁の変形を検出するための二個の光てこを持った走査型力顕微鏡

Scanning force microscopy with two optical levers for detection of deformations of the cantilever.
著者 (2件)：
KAWAKATSU H

KAWAKATSU H について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
SAITO T

SAITO T について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 14  号： 2  ページ： 872-876  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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片持梁

片持梁 について

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カンチレバー

カンチレバー について


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分類 (1件)：
分類
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 
(BD02050B)

電子顕微鏡,イオン顕微鏡 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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片持ち梁

片持ち梁 について

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光てこ

光てこ について

, 
走査型力顕微鏡

走査型力顕微鏡 について


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