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J-GLOBAL ID：200902106732298015   整理番号：03A0107116

小さなソレノイドコイルを用いた渦電流法による直径140nmの分解能の導電率のマッピング

Conductivity Mapping with Resolution of 140 nm in Diameter by Eddy Current Method Using Small Solenoid Coil.

著者 (2件)： YAMAZAKI T (Inst. of Physical and Chemical Res., Wako, JPN) ,  AONO M (Inst. of Physical and Chemical Res., Wako, JPN)
資料名： Materials Transactions  (Materials Transactions)
巻： 43  号： 12  ページ： 3217-3221  発行年： 2002年12月20日 
JST資料番号： G0668A  ISSN： 1345-9678  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 渦電流法を改良した伝導率顕微鏡を提案し,実験した。プローブと...

シソーラス用語： *電気伝導率 ,...

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分類 (2件)： 電気的性質  (WB02010Y) ,  非破壊試験  (HB02030F)

引用文献 (10件)：

• 1) Y. Martin and H. K. Wickramasinghe: Appl. Phys. Lett. 50 (1987) 1455–1457.
• 2) Y. Martin, D. W. Abraham and H. K. Wickramasinghe: Appl. Phys. Lett. 52 (1988) 1103–1105.
• 3) T. Yamazaki and M. Aono: Mater. Trans. 42 (2001) 1705–1709.
• 4) W. Wulfhekel and J. Kirschner: Appl. Phys. Lett. 75 (1999) 1944–1946.
• 5) H. Shibata: Materia Japan 35 (1996) 348–354 [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (6件)： ソレノイドコイル ,  渦電流 ,  直径 ,  分解能 ,  導電率 ,  マッピング