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J-GLOBAL ID：200902106938722174   整理番号：95A0825768

変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ (第1報) 実験的評価

Optical Encoder Using Modulated Pitch Grating. (1st Report). Experimental Evaluation.

著者 (4件)： 家城淳 (オークマ) ,  松井圭司 (オークマ) ,  梨木政行 (オークマ) ,  羽根一博 (東北大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 9  ページ： 1312-1316  発行年： 1995年09月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2枚の回折格子を重ね合わせた相対変位エンコーダにおいて,変調...

シソーラス用語： 位置測定 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• 立澤寛. 精密位置決め技術,第4章. 1989
• CHITNIS, V. T. Moire Signals in Reflection. Opt. Commun. 1985, 54, 207
• 小尾勝俊. レ-ザロ-タリ-エンコ-ダ. センサ技術. 1993, 13,13, 18
• 森山茂夫. 回析格子を用いた精密変位検出法. 昭和57年度精機学会春季大会学術講演会論文集. 1982, 234
• TEIMEL, A. Technology and Applications of Grating Interferometers in High-precision Measurement. Prec. Engg. 1992, 14, 147

タイトルに関連する用語 (6件)： 変調 ,  周期 ,  回折格子 ,  光学式エンコーダ ,  実験 ,  評価