スパッタで作製したTi-Ni形状記憶薄膜

文献

J-GLOBAL ID：200902107100204755 整理番号：93A0582843

Shape memory thin film of Ti-Ni formed by sputtering.

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巻： 228 号： 1/2 ページ： 210-214 発行年： 1993年05月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

種々のArガス圧とrfパワーでのスパッタでTi-Ni合金薄膜...

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その他の金属組織学 , 金属薄膜

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