文献

J-GLOBAL ID：200902108542360558   整理番号：93A0681246

レーザ溶融再結晶化ポリシコリン/SiNの界面評価

Evaluation of Excimer-Laser Annealed Poly-Si/SiN Interface.

著者 (4件)： 内田恭敬 (西東京科大) ,  清水和裕 (東京工大 工) ,  杉浦修 (東京工大 工) ,  松村正清 (東京工大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 635  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ溶融 ,  再結晶化 ,  SiN ,  界面 ,  評価