研究者
J-GLOBAL ID:200901049886380922   更新日: 2020年08月28日

内田 恭敬

ウチダ ヤスタカ | Uchida Yasutaka
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (2件): 電子デバイス、電子機器 ,  半導体、光物性、原子物理
研究キーワード (9件): 電子材料(誘電体) ,  LSI ,  太陽電池 ,  薄膜トランジスタ ,  Si/Geヘテロ界面 ,  Low-K Insulating Films ,  LSI ,  Thin film devices ,  CIGS Solar cell
競争的資金等の研究課題 (6件):
  • 2008 - CIGS太陽電池
  • 2008 - CIGS太陽電池
  • 1995 - 低誘電率絶縁膜の研究
  • 1980 - 薄膜デバイスの研究
  • 1980 - Study on thin film devices
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MISC (41件):
特許 (6件):
講演・口頭発表等 (2件):
  • Porogen concentration dependence of the pore-size distribution in low-k porous silica films with C2H4 groups
    (ADMETA2007 2007)
  • Invesitgation of pulsed-laser annealing of CIGS films
    (PVSEC-17 2007)
学歴 (2件):
  • - 1980 青山学院大学 電気・電子
  • - 1980 青山学院大学
学位 (1件):
  • 工学博士 (東京工業大学)
経歴 (4件):
  • 1987 - 1990 拓殖大学 助手
  • 1987 - 1990 拓殖大学
  • 1980 - 1987 東京工業大学 助手
  • 1980 - 1987 東京工業大学
委員歴 (2件):
  • 2009 - ADMETA2009,2008,2007論文委員
  • 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会委員
所属学会 (1件):
応用物理学会
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