研究者

J-GLOBAL ID：200901049886380922 更新日: 2020年08月28日

内田恭敬

ウチダヤスタカ | Uchida Yasutaka

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (2件)：電子デバイス、電子機器 , 半導体、光物性、原子物理

研究キーワード (9件)：電子材料(誘電体) , LSI , 太陽電池 , 薄膜トランジスタ , Si/Geヘテロ界面 , Low-K Insulating Films , LSI , Thin film devices , CIGS Solar cell

競争的資金等の研究課題 (6件)：

2008 - CIGS太陽電池
2008 - CIGS太陽電池
1995 - 低誘電率絶縁膜の研究
1980 - 薄膜デバイスの研究
1980 - Study on thin film devices

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MISC (41件)：

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特許 (6件)：

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講演・口頭発表等 (2件)：

Porogen concentration dependence of the pore-size distribution in low-k porous silica films with C2H4 groups
(ADMETA2007 2007)
Invesitgation of pulsed-laser annealing of CIGS films
(PVSEC-17 2007)

学歴 (2件)：

- 1980 青山学院大学電気・電子
- 1980 青山学院大学

学位 (1件)：

工学博士 (東京工業大学)

経歴 (4件)：

1987 - 1990 拓殖大学助手
1987 - 1990 拓殖大学
1980 - 1987 東京工業大学助手
1980 - 1987 東京工業大学

委員歴 (2件)：

2009 - ADMETA2009,2008,2007論文委員
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会委員

所属学会 (1件)：

応用物理学会

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