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J-GLOBAL ID：200902108912549124   整理番号：96A0928110

Retardation modulated differential interference microscope and its application to 3-D shape measurement.

著者 (3件)： ISHIWATA H (OLYMPUS Optical CO., Tokyo, JPN) ,  ITOH M (Tsukuba Univ., Ibaraki, JPN) ,  YATAGAI T (Tsukuba Univ., Ibaraki, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2873  ページ： 21-24  発行年： 1996年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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