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J-GLOBAL ID：200902109231535113   整理番号：01A1057819

高誘電率のアルミナ窓を使う表面波モードプラズマにおける灰化特性

Ashing Properties in a Surface-Wave Mode Plasma with a High-Permittivity Alumina Window.

著者 (6件)： SHINAGAWA K (Canon Sales Co., Inc., Tokyo, JPN) ,  SHINDO H (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  KUSABA K (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  KOROMOGAWA T (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  YAMAMOTO J (Canon Sales Co., Inc., Tokyo, JPN) ,  FURUKAWA M (Canon Sales Co., Inc., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40  号： 10  ページ： 5856-5860  発行年： 2001年10月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミナ窓と石英窓の灰化特性を,133Pa,1kWで比較した...

シソーラス用語： *アルミナ ,...

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分類 (2件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  放射線化学反応  (CB09020M)

引用文献 (25件)：

• 1) X.-Y. Li, T. Brozek, F. Preuninger, D. Chan and C. R. Viswanathan: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>14</B> (1996) 571.
• 2) S. Fujimura and H. Yano: J. Electrochem. Soc. 135 (1988) 1195.
• 3) S. Dzioba, G. Este and H. M. Naguib: J. Electrochcm. Soc. 129 (1982) 2537.
• 4) J. M. Cook and B. W. Benson: J. Electrochcm. Soc. 130 (1983) 2459.
• 5) J. J. Hannon and J. M. Cook: J. Electrochcm. Soc. 131 (1984) 1164.

タイトルに関連する用語 (6件)： 高誘電率 ,  アルミナ ,  窓 ,  表面波 ,  プラズマ ,  灰化