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J-GLOBAL ID：200902109436361169   整理番号：97A0614663

シリコン微細加工スキャニングミラーによる2次元小型光学走査センサー

Two-dimensional miniature optical-scanning sensor with silicon micromachined scanning mirror.

著者 (5件)： IKEDA M (OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN) ,  GOTO H (OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN) ,  TOTANI H (OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN) ,  SAKATA M (OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN) ,  YADA T (OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3008  ページ： 111-122  発行年： 1997年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン ,  微細加工 ,  スキャニング ,  ミラー ,  2次元 ,  光学走査 ,  センサー