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J-GLOBAL ID：200902110486580528   整理番号：95A0555449

プラズマCVM法による集積型a-Si太陽電池のパターニングに関する研究 (1)

Patterning of Integrated-type a-Si Solar Cell Submodules by Plasma CVM. (1).

著者 (8件)： 森勇蔵 (大阪大 工) ,  佐野泰久 (大阪大 工) ,  木山精一 (三洋電機) ,  中野真吾 (三洋電機) ,  堂本洋一 (三洋電機) ,  山本恵章 (三洋電機) ,  津田信哉 (三洋電機) ,  中野昭一 (三洋電機)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 42nd  号： Pt 2  ページ： 850  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマCVM ,  集積 ,  a-Si太陽電池 ,  パターニング ,  研究