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J-GLOBAL ID：200902110497948667   整理番号：95A0953196

超微細加工プロセス技術とGHz帯弾性表面変換器

Ultra-fine electrode fabrication techniques and applications to GHz-range surface wave transducers.

著者 (3件)： 目黒敏靖 (東北大) ,  長康雄 (山口大 工) ,  山之内和彦 (東北大)
資料名： 日本音響学会誌  (Journal of the Acoustical Society of Japan)
巻： 51  号： 10  ページ： 769-773  発行年： 1995年10月 
JST資料番号： G0162A  ISSN： 0369-4232  CODEN： NIOGAH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,移動体通信の周波数帯が,1GHz帯から,次の世代では2...

シソーラス用語： 弾性表面波素子 ,...
準シソーラス用語： すだれ状電極

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分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

引用文献 (7件)：

• WHITE, R. M. Direct piezo-electric coupling to surface elastic waves. Appl. Phys. Lett. 1965, 7, 314,316
• 山之内和彦. すだれ状電極による圧電板に対する弾性表面波の励振について. 東北大通研120回音響工学研資. 1965
• POULSEN, R. G. Plasma etching in integrated circuit manufacture-A review. J. Vac. Sci. Technol. 1977, 14, 266
• 山之内和彦. 電子ビーム露光微細加工技術を用いた5GHz帯弾性表面波変換器. 音講論集1-7-3. 1984, 565-566
• 山之内和彦. 電子ビーム露光加工技術を用いた5GHz(基本波動作)弾性表面波フィルタの特性. 音講論集2-2-11. 1985, 643-644

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細加工 ,  プロセス ,  GHz ,  弾性 ,  変換器